壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)-RA-3402A技術(shù)參數(shù)

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF-8382A技術(shù)參數(shù)

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一個(gè)SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平臺(tái)上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

壓電二維納米位移臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到亞納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內(nèi)同樣達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)閉環(huán)控制。

詳細(xì)情況歡迎您咨詢我們，客服電話：400-966-2800

壓電納米位移臺(tái)，納米壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件 ，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的步長，從而解決了傳統(tǒng) 納米臺(tái)行程不足，而微米電動(dòng)臺(tái)分辨率和精度不高的問題。

卓聚科技研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，具有運(yùn)動(dòng)無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。其運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)，具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。其主要應(yīng)用領(lǐng)域有：基礎(chǔ)科研市場，半導(dǎo)體市場，先進(jìn)制造業(yè)，生物醫(yī)藥行業(yè)，光學(xué)、通信等行業(yè)。

根據(jù)納米位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)軌跡，我司的位移臺(tái)分成三大類型，直線納米位移臺(tái)，旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)，多軸納米位移臺(tái)。

請(qǐng)至詳情頁面了解具體性能。

直線納米位移臺(tái)	旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)	多軸納米位移臺(tái)

詳細(xì)情況歡迎您咨詢我們，客服電話：400-966-2800

設(shè)備支持真空環(huán)境。并且支持定制化的開孔位置，滿足不同的安裝場景。壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)模塊使用，使設(shè)備具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF-5950A技術(shù)參數(shù)

360°行程，及高分辨率和精調(diào)步進(jìn)是該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的核心競爭力。

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF-33A技術(shù)參數(shù)

壓電直線納米位移臺(tái) Z軸掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)

壓電直線納米位移臺(tái)ML-92A技術(shù)參數(shù)

壓電直線納米位移臺(tái)ML-37A技術(shù)參數(shù)