傳統(tǒng)納米位移臺行程小而微米電動臺分辯精度不高，性能無法達(dá)到要求。而壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級別的步長，正好解決了這一問題。目前壓電驅(qū)動納米位移臺在科研市場、半導(dǎo)體市場、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
壓電驅(qū)動納米位移臺特點(diǎn)
具有運(yùn)動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
壓電驅(qū)動納米位移臺優(yōu)勢
1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。
2、室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
3、壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長使用壽命。
4、帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

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