納米位移臺之所以須進行防震隔振，是因為它的工作精度非常高，通常在納米級甚至亞納米級別，任何微小的震動都會直接干擾其正常運行和定位精度。
下面是詳細原因解釋，幫助你從原理上理解為什么“防震”對納米位移臺至關重要：
一、納米級精度易被微振動影響
納米位移臺常用于精密掃描、定位、對準、成像等工作（如在原子力顯微鏡、掃描電鏡、光學對準系統(tǒng)中）。
當位移精度要求在幾個納米以內時，地面輕微震動、空調共振、人員走動甚至說話聲都可能引起足以干擾其工作的擾動。
二、環(huán)境振動的來源很多
地面微震：城市中的地基常常有持續(xù)的低頻微震（幾十 Hz 以下），容易傳到工作平臺上。
設備共振：周邊設備如空調、泵、壓縮機等產生的機械振動，通過臺面或結構件耦合進系統(tǒng)。
人為因素：走路、敲擊操作臺、開關門等，都會造成局部瞬時振動。
三、振動會引起的問題
定位誤差：原本需要精準移動 10 nm，但因震動疊加可能偏離目標位置；
成像模糊或重影：尤其在掃描類成像（如AFM、SEM、光學共聚焦）中會造成圖像模糊、條紋、漂移；
閉環(huán)控制不穩(wěn)定：反饋控制器會對非預期振動做出反應，導致系統(tǒng)過補償或振蕩；
掃描誤差放大：振動會疊加在掃描信號上，出現(xiàn)“掃描偽影”或周期性誤差。
四、如何進行防震隔振？
主動隔振平臺：內置傳感器和反饋機構，實時補償震動，適合高精度場合（如 STM、AFM）。
被動氣浮隔振臺：通過氣囊和質量塊隔離中低頻震動，常見于光學桌、位移臺支架下方。
防震腳墊、隔震橡膠：簡易場合下使用，能濾除高頻干擾；
控制環(huán)境源頭：讓設備遠離震源（如機械泵），或者安排在地基穩(wěn)定、人員活動少的區(qū)域。