納米位移臺(tái)在平臺(tái)反向移動(dòng)時(shí)不靈敏，可能表現(xiàn)為響應(yīng)延遲、動(dòng)作不連續(xù)、抖動(dòng)或“卡頓感”。這種現(xiàn)象常常是由控制系統(tǒng)滯后、機(jī)械摩擦或軟件參數(shù)設(shè)置不當(dāng)引起的。以下是常見(jiàn)原因及對(duì)應(yīng)的排查與解決方法：
常見(jiàn)原因分析
1. 機(jī)械系統(tǒng)存在反向間隙（Backlash）
當(dāng)平臺(tái)從一個(gè)方向切換到另一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器與滑臺(tái)之間存在微小的“空行程”；
表現(xiàn)為反向移動(dòng)初期無(wú)響應(yīng)，隨后突然跳動(dòng)；
特別常見(jiàn)于絲杠驅(qū)動(dòng)、壓電+彈性機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)中。
2. 靜摩擦力大（Stick-Slip 現(xiàn)象）
初始靜摩擦力大于驅(qū)動(dòng)力，導(dǎo)致反向動(dòng)作不連續(xù)或滯后；
在低速或微步情況下尤其明顯；
與平臺(tái)導(dǎo)軌潤(rùn)滑狀態(tài)、裝配工藝密切相關(guān)。
3. PID 參數(shù)未優(yōu)化
控制器未針對(duì)反向動(dòng)態(tài)響應(yīng)進(jìn)行精細(xì)調(diào)節(jié)；
比如比例增益 P 設(shè)置過(guò)低，導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)補(bǔ)償不足；
或 D 增益不夠，無(wú)法抑制反向跳動(dòng)。
4. 控制命令或插補(bǔ)邏輯存在“死區(qū)”
一些控制系統(tǒng)設(shè)有“死區(qū)”，小范圍信號(hào)不會(huì)被執(zhí)行；
若輸入反向位移命令小于閾值，則無(wú)動(dòng)作；
可通過(guò)修改驅(qū)動(dòng)器設(shè)置或關(guān)閉死區(qū)補(bǔ)償。
5. 負(fù)載過(guò)大或布線拉扯
平臺(tái)所承載的負(fù)載分布不均或偏重；
電纜線束過(guò)緊，運(yùn)動(dòng)時(shí)拉扯平臺(tái)，導(dǎo)致反向動(dòng)作受限。