清潔納米位移臺(tái)表面時(shí)，須謹(jǐn)慎操作，以避免損傷結(jié)構(gòu)、污染傳感器、影響運(yùn)動(dòng)性能。正確的清潔方法可以延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命并保持其高精度性能。以下是安全、有效的清潔步驟和注意事項(xiàng)：
一、清潔步驟
1. 關(guān)閉電源并斷開控制連接
確保位移臺(tái)停止，斷開電源和信號(hào)線；
防止靜電或意外運(yùn)動(dòng)造成傷害或設(shè)備損壞。
2. 準(zhǔn)備清潔工具與材料
無(wú)塵擦拭布（或鏡頭紙）；
醫(yī)用棉簽（低掉毛型）；
弱揮發(fā)性清潔劑，如：
無(wú)水乙醇；
異丙醇（IPA）；
電子級(jí)清洗液；
防靜電手套或指套；
吹塵球（非壓縮氣罐）用于吹走灰塵。
3. 表面清潔
用吹塵球或干凈無(wú)塵布輕輕拂去表面灰塵；
對(duì)有油跡、指紋或輕微污染部位：
將少量異丙醇或乙醇滴在無(wú)塵布或棉簽上；
輕柔地擦拭表面，避免滲入導(dǎo)軌或縫隙；
不可直接往位移臺(tái)上噴灑清洗液。
4. 邊角區(qū)域處理
使用沾取酒精的棉簽順著縫隙清潔滑軌邊緣，注意不要用力插入縫內(nèi)；
若有導(dǎo)軌保護(hù)蓋或防塵條，可適度掀開輕拭其邊緣。
5. 干燥與恢復(fù)
用干棉簽或布再次擦拭，確保無(wú)殘留液體；
完全干燥后再通電使用。
二、注意事項(xiàng)
清潔時(shí)要注意：
避免溶液滲入運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)內(nèi)部；
不要使用含腐蝕性或揮發(fā)殘留物的溶劑（如丙酮、汽油、稀釋劑）；
不要用金屬物體刮擦表面，防止劃傷；
清潔時(shí)手不要直接接觸關(guān)鍵面，以防留下油污或靜電；
不要強(qiáng)行擦拭電纜接口、傳感器窗口等區(qū)域。
? 若設(shè)備用于潔凈室或真空環(huán)境：
應(yīng)使用電子級(jí)、低揮發(fā)殘留的清洗劑；
符合低粒子釋放和不帶靜電標(biāo)準(zhǔn)的擦拭材料。