納米位移臺(tái)對溫度是比較敏感的，溫度變化往往會(huì)直接影響其定位精度和穩(wěn)定性。 首先是熱膨脹效應(yīng)。位移臺(tái)本體、導(dǎo)軌和安裝結(jié)構(gòu)在溫度變化時(shí)會(huì)發(fā)生微小膨脹或收縮，在納米級(jí)精度下，這種變化會(huì)直接表現(xiàn)為位置漂移或零點(diǎn)偏移。 其次是驅(qū)動(dòng)與傳感器受溫度影響。壓電驅(qū)動(dòng)、電機(jī)和位置傳感器在溫度變化時(shí)，其響應(yīng)特性和輸出信...

納米位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)曲線設(shè)定，核心目的是在速度、精度和穩(wěn)定性之間取得平衡。 首先是運(yùn)動(dòng)曲線類型選擇。常見有梯形速度曲線和 S 型曲線。梯形曲線設(shè)置簡單，但加速度突變，容易引起振動(dòng)；S 型曲線加速度變化平滑，更適合納米級(jí)定位和掃描應(yīng)用。 其次是速度與加速度參數(shù)。速度不宜設(shè)得過高，否則會(huì)放大結(jié)構(gòu)振動(dòng)和跟蹤誤差；...