納米位移臺對溫度是比較敏感的，溫度變化往往會直接影響其定位精度和穩(wěn)定性。
首先是熱膨脹效應(yīng)。位移臺本體、導(dǎo)軌和安裝結(jié)構(gòu)在溫度變化時會發(fā)生微小膨脹或收縮，在納米級精度下，這種變化會直接表現(xiàn)為位置漂移或零點偏移。
其次是驅(qū)動與傳感器受溫度影響。壓電驅(qū)動、電機(jī)和位置傳感器在溫度變化時，其響應(yīng)特性和輸出信號會發(fā)生變化，導(dǎo)致控制誤差增大，尤其在長時間運行或環(huán)境溫度波動時更明顯。
第三是自發(fā)熱問題。連續(xù)運動、高速掃描或長時間通電，會使驅(qū)動器和結(jié)構(gòu)產(chǎn)生熱量，形成局部溫升，引起緩慢漂移。
因此在使用中，通常需要控制環(huán)境溫度穩(wěn)定、減少氣流干擾、在正式測量前進(jìn)行預(yù)熱穩(wěn)定，并避免頻繁大幅度運動。對高精度應(yīng)用，還可通過閉環(huán)控制和溫漂補償來減小影響。
總體來說，溫度對納米位移臺影響顯著，良好的溫控和使用習(xí)慣是保證精度和重復(fù)性的關(guān)鍵。