納米位移臺(tái)的響應(yīng)速度通常是比較快的，但具體速度取決于驅(qū)動(dòng)方式、負(fù)載、行程以及控制系統(tǒng)。
1. 驅(qū)動(dòng)方式差異
壓電驅(qū)動(dòng)型：響應(yīng)時(shí)間可達(dá)到毫秒甚至微秒級(jí)，非常適合高速掃描、振動(dòng)控制等場景。
電機(jī)絲杠/直線電機(jī)型：響應(yīng)速度一般在毫秒到數(shù)百毫秒之間，速度稍慢但可實(shí)現(xiàn)較長行程。
2. 影響響應(yīng)速度的因素
負(fù)載質(zhì)量：負(fù)載越大，加速和減速所需時(shí)間越長。
控制器帶寬：高帶寬的控制系統(tǒng)可以更快響應(yīng)指令。
運(yùn)動(dòng)模式：小步進(jìn)點(diǎn)位移動(dòng)快；長距離高速掃描會(huì)受慣性限制。
反饋系統(tǒng)：帶閉環(huán)反饋（如電容傳感器）的位移臺(tái)在高精度控制時(shí)速度可能會(huì)略低于開環(huán)。
3. 典型數(shù)值參考
壓電納米位移臺(tái)：響應(yīng)時(shí)間可達(dá) <1 ms，但行程通常在幾十到幾百微米。
電機(jī)驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)：響應(yīng)時(shí)間 10–100 ms，行程可達(dá)數(shù)厘米。