納米位移臺(tái)在掃描電鏡（SEM）中是實(shí)現(xiàn)高精度樣品定位和掃描的關(guān)鍵部件，它的用途主要包括以下幾個(gè)方面：
1. 準(zhǔn)確定位樣品
SEM 中需要將樣品的特定區(qū)域?qū)?zhǔn)電子束，納米位移臺(tái)可以在 X、Y、Z 方向進(jìn)行 納米級(jí)或亞微米級(jí)移動(dòng)。
有助于重復(fù)觀察同一位置，或者在不同放大倍數(shù)下對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)。
2. 高分辨率掃描
對(duì)于納米尺度的樣品結(jié)構(gòu)，電子束掃描需要非常平穩(wěn)且可控的位移。
納米位移臺(tái)可以精確控制掃描步長(zhǎng)，保證成像清晰且無漂移。
3. 多點(diǎn)/多區(qū)域自動(dòng)掃描
可編程的多軸位移允許 SEM 自動(dòng)在多個(gè)預(yù)定點(diǎn)進(jìn)行成像或分析。
方便做 多點(diǎn) EDS（能譜分析）、EBSD（電子背散射衍射） 等實(shí)驗(yàn)。
4. 三維成像與傾斜觀察
SEM 有時(shí)需要傾斜樣品觀察表面形貌，納米位移臺(tái)可以準(zhǔn)確控制傾斜角度和 Z 軸高度。
有助于 三維重構(gòu)、表面粗糙度分析 等應(yīng)用。
5. 減少人為誤差和操作疲勞
通過程序控制位移臺(tái)，可以自動(dòng)執(zhí)行重復(fù)掃描或測(cè)量，減少手動(dòng)操作的不穩(wěn)定性。