納米位移臺(tái)調(diào)整移動(dòng)速度的常用方法和注意事項(xiàng)，內(nèi)容精煉、工程可操作：
一、降低自身運(yùn)動(dòng)引起的振動(dòng)
平滑加減速
避免突然啟動(dòng)或停止。
在控制軟件中設(shè)置加速度/減速度 Ramp。
對(duì)壓電或步進(jìn)位移臺(tái)尤為重要，可減少超調(diào)和機(jī)械共振。
降低移動(dòng)速度
高速移動(dòng)易產(chǎn)生振動(dòng)和機(jī)械噪聲。
掃描或定位盡量選擇低速模式。
優(yōu)化運(yùn)動(dòng)路徑
避免長(zhǎng)距離高速連續(xù)移動(dòng)。
對(duì)重復(fù)掃描，可分段移動(dòng)并加入停頓。
二、減小外界環(huán)境振動(dòng)
安裝減震平臺(tái)
氣浮桌、橡膠墊、阻尼板可隔離地面振動(dòng)。
尤其適合高分辨 SEM 或 AFM 配套的納米位移臺(tái)。
遠(yuǎn)離機(jī)械噪聲源
避免空調(diào)、真空泵、風(fēng)扇、電機(jī)等靠近。
對(duì)震動(dòng)敏感的實(shí)驗(yàn)，可采用軟管延長(zhǎng)管道或遠(yuǎn)程泵。
固定支撐結(jié)構(gòu)
位移臺(tái)和樣品支架應(yīng)緊固，避免松動(dòng)。
輕微松動(dòng)也會(huì)被放大為微米級(jí)振動(dòng)。
三、利用閉環(huán)控制
開(kāi)啟光柵或電容傳感器閉環(huán)反饋。
閉環(huán)可實(shí)時(shí)修正位移誤差，降低環(huán)境和機(jī)械振動(dòng)影響。
閉環(huán)模式尤其在高速掃描和高精度定位下效果明顯。
四、溫度和熱擾動(dòng)管理
持續(xù)運(yùn)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生自發(fā)熱，導(dǎo)致熱膨脹或零漂。
預(yù)熱位移臺(tái)至工作溫度，或運(yùn)動(dòng)間加入等待時(shí)間。
實(shí)驗(yàn)室溫度保持穩(wěn)定，可進(jìn)一步降低熱致振動(dòng)。