納米位移臺的運動曲線設(shè)定，核心目的是在速度、精度和穩(wěn)定性之間取得平衡。
首先是運動曲線類型選擇。常見有梯形速度曲線和 S 型曲線。梯形曲線設(shè)置簡單，但加速度突變，容易引起振動；S 型曲線加速度變化平滑，更適合納米級定位和掃描應(yīng)用。
其次是速度與加速度參數(shù)。速度不宜設(shè)得過高，否則會放大結(jié)構(gòu)振動和跟蹤誤差；加速度過大，啟動和停止時容易出現(xiàn)抖動。通常應(yīng)從較小速度、較低加速度開始，再逐步增加，觀察運動是否平穩(wěn)。
第三是掃描與定位場景區(qū)分。定位移動可使用較慢、平滑的曲線保證最終精度；連續(xù)掃描則采用勻速段較長、加減速段平緩的曲線，避免邊緣畸變。
另外要考慮負載和安裝方向。負載越大或豎直安裝，對運動曲線越敏感，需要更保守的加速度設(shè)置。
總體來說，納米位移臺運動曲線應(yīng)優(yōu)先選擇平滑型（如 S 曲線），并根據(jù)負載、精度要求和應(yīng)用模式，逐步優(yōu)化速度與加速度參數(shù)，以獲得穩(wěn)定、可重復(fù)的運動效果。