納米位移臺在掃描時回程不一致，常見原因主要有 機械、控制和環(huán)境三類，下面詳細分析：
機械原因
回差（Backlash）：絲桿、齒輪或?qū)к壌嬖陂g隙，單方向運動后反方向回程會出現(xiàn)位置偏差。
摩擦不均或卡滯：摩擦力大小變化或潤滑不均會導致回程速度和末端位置不同。
彈性變形：柔性結(jié)構(gòu)或鉸鏈在受力時微小形變，回程方向受力不同，產(chǎn)生位置偏差。
控制系統(tǒng)原因
開環(huán)驅(qū)動：如果位移臺沒有閉環(huán)反饋，回程位置完全依賴驅(qū)動信號，容易出現(xiàn)累積誤差。
PID 參數(shù)不合適：回程時加速度或減速度不匹配，控制器不能快速準確調(diào)整，造成回程偏差。
掃描速度過高：高速度掃描會產(chǎn)生動態(tài)滯后和慣性效應(yīng)，回程時偏差更明顯。
環(huán)境因素
溫度變化：臺體受熱膨脹或冷縮，回程時位置偏移。
外部振動或空氣擾動：尤其在微米/納米級定位下，回程方向受力不同，導致末端位置偏差。