納米位移臺(tái)在掃描時(shí)回程不一致，常見(jiàn)原因主要有 機(jī)械、控制和環(huán)境三類，下面詳細(xì)分析：
機(jī)械原因
回差（Backlash）：絲桿、齒輪或?qū)к壌嬖陂g隙，單方向運(yùn)動(dòng)后反方向回程會(huì)出現(xiàn)位置偏差。
摩擦不均或卡滯：摩擦力大小變化或潤(rùn)滑不均會(huì)導(dǎo)致回程速度和末端位置不同。
彈性變形：柔性結(jié)構(gòu)或鉸鏈在受力時(shí)微小形變，回程方向受力不同，產(chǎn)生位置偏差。
控制系統(tǒng)原因
開(kāi)環(huán)驅(qū)動(dòng)：如果位移臺(tái)沒(méi)有閉環(huán)反饋，回程位置完全依賴驅(qū)動(dòng)信號(hào)，容易出現(xiàn)累積誤差。
PID 參數(shù)不合適：回程時(shí)加速度或減速度不匹配，控制器不能快速準(zhǔn)確調(diào)整，造成回程偏差。
掃描速度過(guò)高：高速度掃描會(huì)產(chǎn)生動(dòng)態(tài)滯后和慣性效應(yīng)，回程時(shí)偏差更明顯。
環(huán)境因素
溫度變化：臺(tái)體受熱膨脹或冷縮，回程時(shí)位置偏移。
外部振動(dòng)或空氣擾動(dòng)：尤其在微米/納米級(jí)定位下，回程方向受力不同，導(dǎo)致末端位置偏差。