納米位移臺微小位移“走不出來”，一般不是壞了，而是位移已經(jīng)被系統(tǒng)的各種非理想因素淹沒了，常見原因集中在驅動、控制和機械三方面。
常見的是驅動分辨率不夠。指令位移已經(jīng)小于驅動器或控制器的最小輸出步長，電壓或脈沖雖然在變，但不足以克服系統(tǒng)阻力，實際位移為零，看起來就像不動。
其次是靜摩擦和預緊力影響。微小位移時，驅動力剛好卡在靜摩擦區(qū)間，位移臺需要“積累”到一定能量才會突然動一下。這在低速、小步進時非常明顯。
如果是壓電位移臺，遲滯和蠕變也是關鍵原因。很小的電壓變化并不會立刻轉化為可測位移，尤其在開環(huán)狀態(tài)下，指令變化被材料非線性直接吃掉了。
控制參數(shù)不合適也會導致這種現(xiàn)象。PID 增益偏低或積分作用太弱，系統(tǒng)在微小誤差區(qū)間不去主動糾偏，控制器認為“已經(jīng)到位”，但實際位置還沒變化。
還有一個容易被忽略的問題是傳感器分辨率。位移確實發(fā)生了，但已經(jīng)低于傳感器或顯示分辨率，看起來就像沒走，尤其在納米級以下時很常見。