電噪聲對納米位移臺(tái)的分辨率影響非常明顯，它會(huì)直接作用在驅(qū)動(dòng)器和反饋傳感器上，使位移臺(tái)無法穩(wěn)定地保持在理論最小步長上。可以從幾個(gè)方面理解： 一、對驅(qū)動(dòng)器的影響 納米位移臺(tái)常用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，它的位移與電壓成正比。如果驅(qū)動(dòng)電源中存在電噪聲，哪怕是毫伏級(jí)的波動(dòng)，也會(huì)轉(zhuǎn)化為納米級(jí)甚至亞納米級(jí)的位移抖...

分辨率和靈敏度在納米位移臺(tái)里是兩個(gè)相關(guān)但不同的概念： 一、分辨率 分辨率描述的是 位移臺(tái)能夠區(qū)分的最小位移增量。 它回答的是：這個(gè)臺(tái)子最小能“走”多小的一步？ 通常由驅(qū)動(dòng)器性能、反饋傳感器精度以及電噪聲水平?jīng)Q定。 舉例：某臺(tái)位移臺(tái)分辨率為 0.5 nm，意味著它可以區(qū)分 0.5 nm 的位置變化。 二、靈敏度 靈敏度描述...

納米位移臺(tái)的分辨率會(huì)受到溫度變化的顯著影響，這是因?yàn)椴牧系臒崤蛎?、?qū)動(dòng)器性能漂移以及控制系統(tǒng)誤差都會(huì)隨溫度改變而影響實(shí)際位移。 首先，位移臺(tái)的支撐結(jié)構(gòu)和平臺(tái)通常由金屬材料制成，這些材料會(huì)隨著溫度升高而膨脹，降低溫度時(shí)則收縮。即便溫度變化很小，微米級(jí)的長度也可能產(chǎn)生納米級(jí)的位移漂移，從而影響分辨率。...

納米位移臺(tái)的閉環(huán)控制 對分辨率提升作用非常顯著，它可以將理論分辨率轉(zhuǎn)化為實(shí)際可用分辨率，同時(shí)減少非線性誤差和滯后效應(yīng)。下面詳細(xì)說明： 1. 閉環(huán)控制的基本原理 開環(huán)控制（Open-loop）：驅(qū)動(dòng)信號(hào)直接作用于位移臺(tái)，位移大小由輸入電壓或步進(jìn)決定。 缺點(diǎn)：受非線性、滯后、機(jī)械間隙、熱膨脹影響，實(shí)際位移可能與理論...

納米位移臺(tái)的 線性誤差（即實(shí)際位移與理論位移不完全一致）是影響定位精度的重要因素，其來源可以從機(jī)械、電氣和控制三個(gè)方面分析： 1. 機(jī)械結(jié)構(gòu)因素 導(dǎo)軌或滑塊幾何誤差 導(dǎo)軌直線度、平行度、傾斜度等不理想會(huì)導(dǎo)致位移偏差。 絲杠或螺桿傳動(dòng)誤差 螺距誤差、螺桿旋轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)向軸不完全同軸，會(huì)引起累積位移誤差。 柔性驅(qū)...

納米位移臺(tái)的線性誤差校準(zhǔn)是提高定位精度的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，通常結(jié)合 測量（干涉儀或光柵尺）和 閉環(huán)補(bǔ)償 來完成。下面整理常用方法與具體步驟： 1. 校準(zhǔn)原理 核心思路：測量臺(tái)面實(shí)際位移與理論位移的差值，構(gòu)建誤差補(bǔ)償表或函數(shù)，在控制系統(tǒng)中進(jìn)行補(bǔ)償。 校準(zhǔn)可分為 靜態(tài)校準(zhǔn)（慢速步進(jìn)）和 動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)（連續(xù)運(yùn)動(dòng)）兩類。 2. 校...