納米位移臺的單步移動設(shè)置，用于實現(xiàn)可控的最小位移操作，常見于精細對準、掃描起始點調(diào)整和重復(fù)定位測試。
設(shè)定單步步長
在控制軟件中設(shè)置最小移動距離或步進分辨率。
步長應(yīng)大于系統(tǒng)噪聲和分辨極限，避免無效指令。
選擇控制模式
開環(huán)模式下，單步由驅(qū)動分辨率決定。
閉環(huán)模式下，單步由反饋分辨率與控制參數(shù)共同決定。
配合速度與加速度
單步移動通常需較低速度和加速度，以減少啟動抖動和過沖。
驗證實際位移
連續(xù)執(zhí)行多次單步移動，檢查反饋位移是否一致。
若單步不穩(wěn)定，應(yīng)調(diào)整增益或步長設(shè)置。