納米位移臺在真空環(huán)境下的表現(xiàn)，和在空氣中相比往往是“明顯不一樣的”，而且這種變化既可能變好，也可能變差。
首先是摩擦和潤滑變化。進入真空后，空氣阻尼消失，運動阻力減小，高頻響應(yīng)有時會更干脆。但同時，普通潤滑脂容易揮發(fā)或失效，摩擦系數(shù)反而變得不穩(wěn)定，低速爬行、方向切換遲滯更容易出現(xiàn)。
其次是真空放氣和污染問題。材料和潤滑劑在真空中放氣，會污染傳感器或樣品區(qū)，間接影響位移穩(wěn)定性和重復(fù)性，這在納米級定位時非常明顯。
溫度效應(yīng)會被放大。真空中幾乎沒有對流散熱，驅(qū)動器和致動器產(chǎn)生的熱量更難散出，結(jié)構(gòu)熱膨脹更集中，長時間掃描時容易出現(xiàn)緩慢漂移。
對壓電納米位移臺來說，遲滯和蠕變特性在真空中基本仍然存在，但由于環(huán)境更穩(wěn)定，有時短時間內(nèi)的噪聲會下降；相反，長期漂移可能更突出。
傳感器和電纜也會受到影響。電容式、應(yīng)變式傳感器在真空中一般可用，但對污染更敏感；線纜剛性在真空中表現(xiàn)更明顯，拖拽力對微小位移的影響會被放大。