納米位移臺(tái)在方向切換后出現(xiàn)位置偏差，主要原因通常和系統(tǒng)慣性、滯后、控制環(huán)特性和機(jī)械結(jié)構(gòu)有關(guān)。具體表現(xiàn)和機(jī)理如下：
機(jī)械滯后：絲桿、齒輪或?qū)к壌嬖谖⑿￠g隙，正向運(yùn)動(dòng)和反向運(yùn)動(dòng)之間有空行程，方向切換時(shí)會(huì)產(chǎn)生瞬時(shí)偏差。
控制環(huán)響應(yīng)滯后：閉環(huán)控制中，PID 或其他控制器需要時(shí)間反應(yīng)，當(dāng)方向快速切換時(shí)，控制器輸出滯后，導(dǎo)致位置瞬時(shí)偏離目標(biāo)。
慣性效應(yīng)：位移臺(tái)負(fù)載或運(yùn)動(dòng)平臺(tái)有慣性，突然換方向時(shí)，慣性會(huì)使臺(tái)子“超沖”或出現(xiàn)短時(shí)偏差，尤其在高速運(yùn)動(dòng)下更明顯。
驅(qū)動(dòng)器和編碼器精度：步進(jìn)電機(jī)或線性電機(jī)的分辨率和編碼器反饋精度有限，快速切換時(shí)可能出現(xiàn)量化誤差或信號(hào)滯后。
環(huán)境因素：溫度變化、濕度或真空環(huán)境下潤(rùn)滑狀態(tài)變化，會(huì)改變摩擦特性，也可能在方向切換時(shí)造成小偏差。