納米位移臺在方向切換后出現(xiàn)位置偏差，主要原因通常和系統(tǒng)慣性、滯后、控制環(huán)特性和機械結(jié)構(gòu)有關(guān)。具體表現(xiàn)和機理如下：
機械滯后：絲桿、齒輪或?qū)к壌嬖谖⑿￠g隙，正向運動和反向運動之間有空行程，方向切換時會產(chǎn)生瞬時偏差。
控制環(huán)響應(yīng)滯后：閉環(huán)控制中，PID 或其他控制器需要時間反應(yīng)，當方向快速切換時，控制器輸出滯后，導致位置瞬時偏離目標。
慣性效應(yīng)：位移臺負載或運動平臺有慣性，突然換方向時，慣性會使臺子“超沖”或出現(xiàn)短時偏差，尤其在高速運動下更明顯。
驅(qū)動器和編碼器精度：步進電機或線性電機的分辨率和編碼器反饋精度有限，快速切換時可能出現(xiàn)量化誤差或信號滯后。
環(huán)境因素：溫度變化、濕度或真空環(huán)境下潤滑狀態(tài)變化，會改變摩擦特性，也可能在方向切換時造成小偏差。