納米位移臺出現(xiàn)微小位移走不出來，通常不是壞了，而是控制、摩擦或驅(qū)動問題導(dǎo)致。原因和解決思路如下：
靜摩擦太大：微小步進(jìn)力不足以克服導(dǎo)軌或絲桿靜摩擦，表現(xiàn)為下發(fā)指令但臺子沒動?？蛇m當(dāng)增加微動驅(qū)動力或調(diào)低摩擦。
控制器分辨率限制：驅(qū)動器或控制器量程/最小步長比你想走的位移大，微小位移指令無法輸出有效信號?？梢哉{(diào)小步長、提高分辨率或使用閉環(huán)模式。
閉環(huán)反饋未生效：如果是閉環(huán)位移臺，編碼器或傳感器信號被濾掉或滯后，也會導(dǎo)致微小位移“看不見”。檢查編碼器連接和控制參數(shù)。
驅(qū)動器死區(qū)或非線性：一些電壓/電流驅(qū)動在低信號下有死區(qū)，臺子無法響應(yīng)微小輸入。可以通過軟件加一個微小補(bǔ)償步或調(diào)節(jié)驅(qū)動器參數(shù)解決。
環(huán)境因素：真空或低溫下潤滑狀態(tài)變化，摩擦力增加，也可能讓微小運動被“鎖住”。
解決辦法：增加微動驅(qū)動力或信號增益、檢查最小步長是否低于目標(biāo)位移、在閉環(huán)模式下讓臺子先小幅抖動激活運動、必要時輕輕預(yù)加載以克服靜摩擦。