減少納米位移臺在高速運動時的振動是保證其高精度、穩(wěn)定性和可靠性的關(guān)鍵，尤其在進行精密成像、定位或掃描時。以下是一些減少振動的有效方法： 一、優(yōu)化運動軌跡 平滑加速和減速 避免劇烈的加速和減速，因為這些變化容易引起瞬時高頻振動。 使用S型加速/減速曲線，逐漸調(diào)整速度，避免陡峭的加速階段，減少由于慣性帶來...

納米位移臺在長時間運行中確實會出現(xiàn)漂移現(xiàn)象。這是高精度定位系統(tǒng)中的一個常見問題，尤其是在要求納米級穩(wěn)定性的應用中（如掃描探針顯微鏡、曝光、光學對準等）。 一、什么是“漂移”？ “漂移”是指： 在沒有指令或控制信號變化的情況下，位移臺的輸出位置隨時間緩慢發(fā)生偏移。 它可能是幾納米/秒，也可能在數(shù)分鐘內(nèi)累積到...

納米位移臺在高速運動時出現(xiàn)自激振蕩（self-excited oscillation），主要是因為系統(tǒng)的動態(tài)特性和反饋控制機制在高速度條件下激發(fā)了某些本征頻率或不穩(wěn)定模態(tài)。 我們來詳細解釋一下其中的原理、原因，以及如何預防這種現(xiàn)象： 一、什么是自激振蕩？ 自激振蕩是指： 系統(tǒng)內(nèi)部由于結(jié)構(gòu)特性或控制系統(tǒng)設(shè)計不當，在沒有外部周...

納米位移臺之所以須進行防震隔振，是因為它的工作精度非常高，通常在納米級甚至亞納米級別，任何微小的震動都會直接干擾其正常運行和定位精度。 下面是詳細原因解釋，幫助你從原理上理解為什么“防震”對納米位移臺至關(guān)重要： 一、納米級精度易被微振動影響 納米位移臺常用于精密掃描、定位、對準、成像等工作（如在原子力...

納米位移臺在動態(tài)掃描過程中會受到各種干擾因素引起的漂移誤差（drift error），例如溫度變化、機械松動、控制延遲、電氣噪聲等。下面是一些系統(tǒng)性方法，用于減小漂移誤差，提升掃描精度和穩(wěn)定性： 一、控制層面：優(yōu)化控制系統(tǒng) 1. 使用閉環(huán)控制系統(tǒng) 配置電容式、應變片或干涉儀等高分辨率傳感器，構(gòu)成閉環(huán)反饋； 實時修...

安裝納米位移臺時，對平臺的水平度有一定要求，這是為了保證其高精度定位性能和長期穩(wěn)定性。以下是常見的要求和建議： 一、平臺水平度的基本要求 水平度誤差建議小于 0.1 mm/m（或0.01°） 對于高精度納米位移系統(tǒng)，平臺表面應盡量保持水平，以避免： 重力對運動部件產(chǎn)生橫向分量，影響精度； 造成負載不均，影響傳動系統(tǒng)...